根據(jù)潔凈度的要求，FFU過(guò)濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或初效（ULPA）過(guò)濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過(guò)濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

FFU過(guò)濾器可的優(yōu)點(diǎn):

靈活性大,便于改造;從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來(lái)，密封好，妥善保管，留待下次使用。

占領(lǐng)的建筑空間更少;使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。

室內(nèi)空氣壓力大于靜室、排除區(qū)域回風(fēng)潔凈室的靜室污染的可能性。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。

減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。循環(huán)運(yùn)用減少40％的運(yùn)行成本。